管道內(nèi)壁PECVD鍍膜設(shè)備
管道內(nèi)壁PECVD鍍膜設(shè)備可進(jìn)行至少12m長(zhǎng)度的管道內(nèi)壁涂層制作,管道內(nèi)徑可從50mm~300mm選擇、涂層性能分為超潤(rùn)滑涂層、超硬涂層、抗沖擊涂層、耐磨涂層。
弧電源 P3E-1000
脈沖電壓范圍:0~200V,脈沖峰值電流 :1000A ,脈沖頻率范圍:150~500Hz ,脈沖脈寬范圍:150~500uS ,直流電壓范圍 :0~200V ,直流最大電流 :80A ,自檢引弧功能 :有 ,模塊同步:光纖,波形接口 :BNC電壓/電流 ,工業(yè)通訊端口 :RS485
偏壓電源 Bias-80k
脈沖電壓范圍:50~1000V,脈沖峰值電流:50A,輸出最大功率:15kW,脈沖頻率范圍:1~80kHz,脈沖脈寬范圍:0.5~950uS,波形接口:BNC電壓/電流,模塊同步:光纖,工業(yè)通訊端口:RS485
磁控電源 HiPIMS-1500
輸出最大功率:40kW,脈沖電壓范圍:200~1000V,脈沖峰值電流:1500A,脈沖頻率范圍:20~1000Hz,脈沖脈寬范圍:10~300uS,直流電壓范圍:100~750V,直流最大電流:40A,模塊同步:光纖