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HiPIMS應(yīng)用

HiPIMS--高離化率

HiPIMS在高峰值電流500-1000A下,對金屬靶材Ti,Cr,Cu,Ta,TiAl,CrAl等形成高離化率輝光,離化率能達(dá)到80%以上。

HiPIMS--高離化率


HiPIMS--高離化率

HiPIMS--高結(jié)合力

HiPIMS高離化率配合脈沖偏壓電源同步實現(xiàn)對金屬離子的能量與分布進(jìn)行調(diào)控,對基底進(jìn)行金屬離子刻蝕清洗,實現(xiàn)在金屬和陶瓷、玻璃、光纖等絕緣基底實現(xiàn)高結(jié)合力,TiN在高速鋼劃痕結(jié)合力85N,在陶瓷基底金屬化Cu結(jié)合力測試達(dá)到115N/mm2。

HiPIMS--高結(jié)合力

HiPIMS高離化率

HiPIMS高離化率


HiPIMS--高致密性

HiPIMS高離化率使得在沉積硬質(zhì)涂層與金屬涂層時,更易調(diào)控金屬離子對膜層的轟擊,能實現(xiàn)膜層的高致密性生長,與傳統(tǒng)DC/MF模式比較,膜層斷面致密光滑;在光纖金屬化焊接后,密封性能測試能達(dá)到4.4*10-9 Pa.m3/s。

HiPIMS--高致密性


HiPIMS--高致密性

HiPIMS--高繞射性(3D鍍膜均勻性)

HiPIMS電源在瞬間形成高峰值電流,形成高密度等離子體,使得異性工件成膜均勻性大幅提升,在側(cè)面、凹孔、通孔等形狀內(nèi)部也能形成均勻致密涂層;HiPIMS技術(shù)沉積孔內(nèi)側(cè)壁處膜層致密光滑,孔內(nèi)金屬層方塊電阻更均勻且更低。

HiPIMS電源

HiPIMS電源


HiPIMS--微深孔鍍膜能力

HiPIMS形成超高密度等離子體與脈沖偏壓的脈沖同步配合,通過金屬離子濺射沉積和刻蝕方式實現(xiàn)微深孔內(nèi)壁金屬化(孔徑40um,孔深500um);在陶瓷微孔(深徑比為12)內(nèi)壁金屬化膜層均勻致密,接近垂直生長。

HiPIMS--微深孔鍍膜能力


HiPIMS--高亮度

HiPIMS形成超高密度等離子體,實現(xiàn)靶材和反應(yīng)氣體的高離化率,得到高致密和表面光滑膜層。HiPIMS制備TiN亮度L值達(dá)到76.3,高于傳統(tǒng)MF亮度值8個點。TiCN玫瑰金亮度L值達(dá)到65,接近多弧裝飾鍍亮度值。

HiPIMS形成超高密度

HiPIMS測試


HiPIMS--刃口低損傷DLC涂層

HiPIMS超高離化率在脈沖偏壓等離子體鞘層作用下,膜層在刃口處均勻包裹生長,能保持刃口鋒利度;結(jié)合PECVD方法制備低損傷DLC涂層,硬度1500Hv,摩擦系數(shù)低于0.15,HSS結(jié)合力HF1,摻雜Ag,Cu具備抗菌效果。

HiPIMS--刃口低損傷DLC涂層

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HiPIMS--光學(xué)鍍膜領(lǐng)域

HiPIMS濺射靶材與反應(yīng)氣體高離化率,使Ti、Nb、Si靶與氧氣反應(yīng)濺射不會靶中毒,不存在遲滯曲線現(xiàn)象;制備的光學(xué)薄膜其致密度高,折射率相對更高,成膜的應(yīng)力底。

HiPIMS--光學(xué)鍍膜領(lǐng)域

HiPIMS光學(xué)鍍膜領(lǐng)域


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