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HiPIMS-400A

    利用較高的脈沖峰值功率和較低的脈沖占空比來(lái)產(chǎn)生高濺射金屬離化率的一種磁控濺射技術(shù)

HIPIMS是高功率脈沖磁控濺射技術(shù)(High power impulse magnetron sputtering)的簡(jiǎn)稱(chēng),其原理是利用較高的脈沖峰值功率和較低的脈沖占空比來(lái)產(chǎn)生高濺射金屬離化率的一種磁控濺射技術(shù)。

HiPIMS-400A 是由新鉑科技打造的一款適用于高校鍍膜實(shí)驗(yàn)需求的真空鍍膜電源,可直流+脈沖組合輸出,脈沖峰值電流高,具有高離化率,放電密度大、粒子能量高、反應(yīng)活性好。可作為直流磁控濺射電源的升級(jí)替代方案,無(wú)需改動(dòng)即可用于現(xiàn)有磁控系統(tǒng)??垢g、耐磨損的硬質(zhì)鍍膜工藝中,高功率脈沖磁控濺射應(yīng)用是首選。

HiPIMS

產(chǎn)品特點(diǎn):

多波形設(shè)置,具有反向抑弧能力,膜層更細(xì)膩。

特別適合于高校PVD創(chuàng)新工藝的多波形設(shè)定。

可手機(jī)遠(yuǎn)程監(jiān)視和控制,調(diào)節(jié)各種參數(shù),遠(yuǎn)程關(guān)閉電源,監(jiān)控電源運(yùn)行情況。

畫(huà)面完全同步,指令反饋迅速且精準(zhǔn)。走路、吃飯均可控之方便,甚至實(shí)驗(yàn)中途去洗手間也會(huì)更從容。

HiPIMS


型號(hào)

HiPIMS-400A

峰值電流

400A

輸出電壓

200~1000V

脈寬范圍

10~500uS

頻率范圍

100~2500Hz

峰值功率

400kW

平均功率

脈沖20kW+ 直流10kW

冷卻方式

風(fēng)冷

輸入電源

AC380V30kW 三相四線

外控通訊

RS485

尺寸

 500*370*600mm

重量

50kg