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【證書-實(shí)用新型】《一種閉環(huán)控制的高功率脈沖磁控濺射電源模組》

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【證書-實(shí)用新型】《薄膜基體等離子體鍍前處理設(shè)備》

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【證書-實(shí)用新型】《細(xì)外徑磁控旋轉(zhuǎn)陰極》

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【證書-實(shí)用新型】《脈沖電源測試用負(fù)載裝置》

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【證書-實(shí)用新型】《基于朗繆爾探針閉環(huán)控制的等離子體電源》(1)

【證書-實(shí)用新型】《基于朗繆爾探針閉環(huán)控制的等離子體電源》(1)

【證書-實(shí)用新型】《一種簡單實(shí)用的 PVD 鍍膜電源模組》

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【證書-實(shí)用新型】《一種閉環(huán)控制的高功率脈沖磁控濺射電源模組》

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【證書-實(shí)用新型】《薄膜基體等離子體鍍前處理設(shè)備》

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【證書-實(shí)用新型】《脈沖電源測試用負(fù)載裝置》

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【證書-實(shí)用新型】《基于朗繆爾探針閉環(huán)控制的等離子體電源》(1)

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【證書-實(shí)用新型】《一種簡單實(shí)用的 PVD 鍍膜電源模組》

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