請(qǐng)問,HiPIMS高能磁控電源輸出線有什么注意事項(xiàng)?
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一、電源輸出線離腔體盡量近,電源線盡量短
為了保證脈沖電流波引入到真空腔體時(shí)波形不畸變,且衰減小。期望在系統(tǒng)中,脈沖電鍍電源與真空腔體的距離2-3m為佳,長(zhǎng)線易對(duì)脈沖電流波形的上升、下降沿產(chǎn)生較大的影響,真空腔體打火時(shí),滅弧效果有影響。
二、正負(fù)極導(dǎo)線使用同軸線纜或者雙絞屏蔽
脈沖電源的輸出銜接,導(dǎo)線間的電感效應(yīng)越小越好。因而陰、陽極導(dǎo)線最好的辦法就是同軸無感線。但為了省成本和線徑的考慮,也可使用兩根線纜高密度雙絞走線,并在外層套密的金屬織網(wǎng)屏蔽層,屏蔽層接良好的靜電地,減少對(duì)外圍設(shè)備的干擾。
三、 線纜線徑的選擇
由于是脈沖電源,為了避免趨夫效應(yīng),在導(dǎo)線挑選時(shí),應(yīng)挑選多股芯線作脈沖電源到真空腔體靶極的連接線。多股芯線絞織,其間的線電能夠抵消其電感效應(yīng)。導(dǎo)線的線徑一定要滿足其通過的平均額定電,且耐壓值高于脈沖輸出電壓。由于脈沖電流的電流密度要比均勻電流電流密度幾十倍甚上百倍,因而有必要考慮能接受脈沖電源的電流所發(fā)生的電流熱效應(yīng)